按表面结构分为：有开槽和不开槽的抛光皮
按表面结构分为：有开槽和不开槽的抛光皮
抛光皮的开槽种类：
抛光皮的作用：
1.把抛光液有效均匀地输送到抛光皮的不同区域；
2.从被加工表面带走抛光过程中的残留物质、碎屑等，达到去除效果；
3.传递和承载加工去除过程中所需的机械载荷；
4.维持抛光皮表面的抛光液薄膜，以便化学反应充分进行；
5.保持抛光过程的平稳、表面不变形，以便获得较好的产品表面形貌。
抛光皮不同材质和制造工艺介绍：
不织布磨皮
不织布磨皮
薄状聚酯纤维层叠后，用针反复撞击使纤维结合在一起使其成为毛毡状，并把它浸在聚氨树脂或乳胶（SBR NBR等橡胶）中，然后切片，抛光，完成最终产品。
聚氨酯硬质磨皮
聚氨酯硬质磨皮
聚氨酯预聚物和硬化剂（增链剂）、发泡剂按照规定量混合后，注入定型容器中做成块状，然后通过切片机加工成最终片状磨皮。
阻尼布磨皮
阻尼布磨皮
聚氨酯树脂和发泡添加剂颜料（炭黑）等混合后放入水中凝固，干燥成薄膜状。然后通过抛光加工，粘上基材和双面胶得到最终产品。
抛光皮性能分析：
影响抛光皮性能的因素：内部因素和外部因素
内部因素
硬度—抛光皮的硬度决定保持面形精度的能力；
压缩比—压缩比反映抛光皮的抗变形能力；
涵养量—抛光皮的涵养量是单位体积的抛光皮存储抛光液的质量；
粗糙度—表面粗糙度是抛光皮表面的凹凸不平程度；
密度—密度是抛光皮材料的致密程度。
外部因素
CMP是由运动学，力学，流体力学，化学，摩擦，磨耗等各种复杂作用来移除材料表面。
影响抛光皮性能的外部因素主要有抛光液的成份&浓度、抛光粉的粒径、压力、速度、时间、温度等。
内部因素
硬度—抛光皮的硬度决定保持面形精度的能力；
压缩比—压缩比反映抛光皮的抗变形能力；
涵养量—抛光皮的涵养量是单位体积的抛光皮存储抛光液的质量；
粗糙度—表面粗糙度是抛光皮表面的凹凸不平程度；
密度—密度是抛光皮材料的致密程度。
外部因素
CMP是由运动学，力学，流体力学，化学，摩擦，磨耗等各种复杂作用来移除材料表面。
影响抛光皮性能的外部因素主要有抛光液的成份&浓度、抛光粉的粒径、压力、速度、时间、温度等。
材料移除量（RP）计算公式：ＲＰ＝Ｋ×Ｐ×Ｖ×Ｔ
【k：比例定数 P：研磨压力 V：研磨速度（磨皮和研磨对象物的相对速度） t：研磨时间】
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